白光干涉儀,光學3D表面輪廓儀,三維顯微形貌精密測量

SuperViewW1白光干涉儀除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應變測量以及表面形貌測量。SuperViewW1光學3D表面輪廓儀以白光干涉技術為原理，能夠以優于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，廣泛應用于光學，半導體，材料，精密機械等等領域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。

一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數據自動統計，實現了快速批量測量的功能；
2）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；
3）結合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區域的測量與分析過程；
4）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；
5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；
6）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。
 

產品功能

1）SuperViewW1白光干涉儀設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；
2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；
3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區域測量功能；
4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區域提取等四大模塊的數據處理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

SuperViewW1白光干涉儀的雙通道氣浮隔振系統設計，既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩定工作，可以有效隔絕地面傳導的振動，同時內部隔振系統能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。